Silicon processing for the VLSI era

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Wolf, Stanley 1943-
Altres autors:	Tauber, Richard N.
Format:	Llibre
Idioma:	anglès
Publicat:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Matèries:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.