Omslagsbillede

Silicon processing for the VLSI era

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Wolf, Stanley 1943-
Andre forfattere: Tauber, Richard N.
Format: Bog
Sprog:engelsk
Udgivet: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Fag:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.