Silicon processing for the VLSI era

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Wolf, Stanley 1943-
Weitere Verfasser:	Tauber, Richard N.
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Schlagworte:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.