Εξώφυλλο

Silicon processing for the VLSI era

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Wolf, Stanley 1943-
Άλλοι συγγραφείς: Tauber, Richard N.
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Θέματα:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.