Kansikuva

Silicon processing for the VLSI era

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Wolf, Stanley 1943-
Muut tekijät: Tauber, Richard N.
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:englanti
Julkaistu: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Aiheet:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.