Silicon processing for the VLSI era

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Wolf, Stanley 1943-
Outros autores:	Tauber, Richard N.
Formato:	Libro
Idioma:	inglés
Publicado:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Subjects:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.