Slika omota

Silicon processing for the VLSI era

Bibliografski detalji
Glavni autor: Wolf, Stanley 1943-
Daljnji autori: Tauber, Richard N.
Format: Knjiga
Jezik:engleski
Izdano: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Teme:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.