Silicon processing for the VLSI era

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ:	Wolf, Stanley 1943-
Այլ հեղինակներ:	Tauber, Richard N.
Ձևաչափ:	Գիրք
Լեզու:	անգլերեն
Հրապարակվել է:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Խորագրեր:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.