Silicon processing for the VLSI era

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Wolf, Stanley 1943-
Altri autori:	Tauber, Richard N.
Natura:	Libro
Lingua:	inglese
Pubblicazione:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Soggetti:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.