Silicon processing for the VLSI era

書誌詳細
第一著者:	Wolf, Stanley 1943-
その他の著者:	Tauber, Richard N.
フォーマット:	図書
言語:	英語
出版事項:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
主題:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.