Okładka

Silicon processing for the VLSI era

Opis bibliograficzny
1. autor: Wolf, Stanley 1943-
Kolejni autorzy: Tauber, Richard N.
Format: Książka
Język:angielski
Wydane: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Hasła przedmiotowe:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.