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Silicon processing for the VLSI era

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Wolf, Stanley 1943-
Outros Autores: Tauber, Richard N.
Formato: Livro
Idioma:inglês
Publicado em: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Assuntos:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.