Slika na naslovnici

Silicon processing for the VLSI era

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor: Wolf, Stanley 1943-
Drugi avtorji: Tauber, Richard N.
Format: Knjiga
Jezik:angleščina
Izdano: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Teme:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.