Ảnh bìa

Silicon processing for the VLSI era

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Wolf, Stanley 1943-
Tác giả khác: Tauber, Richard N.
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:Tiếng Anh
Được phát hành: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Những chủ đề:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.