Silicon processing for the VLSI era

书目详细资料
主要作者:	Wolf, Stanley 1943-
其他作者:	Tauber, Richard N.
格式:	图书
语言:	英语
出版:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
主题:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.