صورة الغلاف

Silicon processing for the VLSI era

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Wolf, Stanley 1943-
مؤلفون آخرون: Tauber, Richard N.
التنسيق: كتاب
اللغة:الإنجليزية
منشور في: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
الموضوعات:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.