Obálka

Silicon processing for the VLSI era

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Wolf, Stanley 1943-
Další autoři: Tauber, Richard N.
Médium: Kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Témata:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.