Azala

Silicon processing for the VLSI era

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Wolf, Stanley 1943-
Beste egile batzuk: Tauber, Richard N.
Formatua: Liburua
Hizkuntza:ingelesa
Argitaratua: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Gaiak:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.