Íomhá chlúdaigh

Silicon processing for the VLSI era

Sonraí bibleagrafaíochta
Príomhchruthaitheoir: Wolf, Stanley 1943-
Rannpháirtithe: Tauber, Richard N.
Formáid: LEABHAR
Teanga:Béarla
Foilsithe / Cruthaithe: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Ábhair:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.