תמונות העטיפה

Silicon processing for the VLSI era

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Wolf, Stanley 1943-
מחברים אחרים: Tauber, Richard N.
פורמט: ספר
שפה:אנגלית
יצא לאור: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
נושאים:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.