Silicon processing for the VLSI era

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur:	Wolf, Stanley 1943-
Andere auteurs:	Tauber, Richard N.
Formaat:	Boek
Taal:	Engels
Gepubliceerd in:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Onderwerpen:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.