Silicon processing for the VLSI era

Библиографические подробности
Главный автор:	Wolf, Stanley 1943-
Другие авторы:	Tauber, Richard N.
Формат:	‌
Язык:	английский
Опубликовано:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Предметы:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.