Omslagsbild

Silicon processing for the VLSI era

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Wolf, Stanley 1943-
Övriga upphovsmän: Tauber, Richard N.
Materialtyp: Bok
Språk:engelska
Publicerad: Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
Ämnen:
Semiconductors > Etching.
Integrated circuits > Very large scale integration.
Silicon.