Silicon processing for the VLSI era

書目詳細資料
主要作者:	Wolf, Stanley 1943-
其他作者:	Tauber, Richard N.
格式:	圖書
語言:	英语
出版:	Sunset Beach, Calif. Lattice Press c1986.
主題:	Semiconductors > Etching. Integrated circuits > Very large scale integration. Silicon.